我們平時(shí)所使用的手機(jī)為什么能夠與外界連接溝通？這得益于其中的芯片。當(dāng)然芯片的使用不限于手機(jī)，還有我們平時(shí)使用的銀行卡、電話卡甚至學(xué)校一卡通都會(huì)使用到芯片。作為芯片的制造設(shè)備四川光刻機(jī)。下面我們先來(lái)了解一下使用它曝光的三種方式。

接觸式曝光

接觸式曝光是將掩膜與待加工基片的光膠層直接接觸進(jìn)行的曝光。掩膜和基片通過(guò)機(jī)械裝置壓緊或通過(guò)真空吸住等方法實(shí)現(xiàn)兩者緊密接觸。

優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備簡(jiǎn)單、造價(jià)便宜、分辨率較高，約1-2μm。由于掩膜與光膠層緊密接觸，所以相差小，分辨率高。

缺點(diǎn)：由于掩膜與基片緊密接觸，容易損壞掩膜與光膠層。

非接觸式曝光

非接觸式曝光是指掩膜和基片上的光膠層不直接接觸實(shí)現(xiàn)圖形復(fù)印曝光的方法。

優(yōu)點(diǎn):克服接觸式曝光容易損壞掩膜和基片的缺點(diǎn)。

缺點(diǎn)：由于光的衍射效應(yīng)會(huì)使圖形的分辨率下降。

投影式曝光

投影式曝光是指掩膜與基片并不直接接觸，而是以類似投影儀的投影方式來(lái)進(jìn)行圖形的轉(zhuǎn)移。

優(yōu)點(diǎn)：曝光均勻，沒(méi)有色差、象差，可進(jìn)行縮小投影曝光，因此掩膜的尺寸可比基片大很多倍，掩膜中的圖形線條可做得較粗。

缺點(diǎn)：裝置價(jià)格昂貴。

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