根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風(fēng)系統(tǒng)。① DC供氣系統(tǒng)。 (2)回風(fēng)供應(yīng)系統(tǒng)。 (3)一、二次回風(fēng)送風(fēng)系統(tǒng)。 ④新風(fēng)機(jī)組(MAU)和循環(huán)機(jī)組(RCU)送風(fēng)系統(tǒng)。 其次是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的空氣分離和送風(fēng)方式。一種將送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分開的方法，以消除室內(nèi)余熱和濕度，潔凈送風(fēng)，保證室內(nèi)潔凈度水平。即消除室內(nèi)余熱和濕度的空調(diào)送風(fēng)量(約占總送風(fēng)量的10% ~ 30%)在位于空調(diào)機(jī)房的空調(diào)機(jī)組(AHU)或新風(fēng)機(jī)組(MAU)中進(jìn)行熱濕處理，保證室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度，凈化送風(fēng)量(占總送風(fēng)量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環(huán)，保證室內(nèi)潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負(fù)荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負(fù)荷；制冷機(jī)組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負(fù)荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室的空氣處理方式應(yīng)通過熱負(fù)荷、濕負(fù)荷、風(fēng)量平衡的計(jì)算和經(jīng)濟(jì)技術(shù)的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量遠(yuǎn)大于新風(fēng)量，可以實(shí)現(xiàn)二次回風(fēng)，避免冷熱抵消，達(dá)到節(jié)能的目的。因此，應(yīng)采用二次回風(fēng)。二次回風(fēng)的過程可分為兩種方式:新風(fēng)承擔(dān)全部冷、熱、濕負(fù)荷，新風(fēng)和循環(huán)風(fēng)分別承擔(dān)冷、熱、濕負(fù)荷。冷、熱、濕總負(fù)荷相同，應(yīng)根據(jù)工程具體情況合理采用。對(duì)于室內(nèi)顯熱負(fù)荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風(fēng)溫度與室內(nèi)溫度的溫差較小，采用新風(fēng)空調(diào)加FFU(風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組)和干表面冷卻分擔(dān)冷熱負(fù)荷是節(jié)能的。