潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通?？烧伎偰芎牡?5% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室的節能 為了降低潔凈室的能耗，應從潔凈室的規劃設計階段就考慮節能。降低潔凈室能耗的主要途徑是合理確定潔凈室的面積和適當選擇潔凈度等級。選擇先進的低能耗公共電力系統和設備；合理確定潔凈室的圍護結構等?？梢圆扇〉墓澞艽胧┌? (1)場地和總平面布置，盡量選擇空氣污染少、產塵少的場地建廠，潔凈室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工藝布局上，盡可能減少潔凈室面積或減少潔凈度要求嚴格的潔凈室面積|不能設置在潔凈室的工藝和設備應設置在非潔凈室<適當確定各類房間的潔凈度等級，不隨意提出潔凈度要求，組織好人流、物流并布置好輔助用房，配合相關專業選擇潔凈室的形式和空間布局。 (3)合理確定潔凈室的建筑形式，減少冷量損失。 (4)優化凈化空調系統的空氣處理流程。 (5)盡量減少制冷(制熱)負荷，

潔凈室的空氣處理方式應通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經濟技術的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環風量遠大于新風量，可以實現二次回風，避免冷熱抵消，達到節能的目的。因此，應采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應根據工程具體情況合理采用。對于室內顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內溫度的溫差較小，采用新風空調加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節能的。