2潔凈室空調系統 一般潔凈室(包括工業潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調凈化系統的集中空氣處理和集中送風方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內余熱、濕度，維持室內正壓，保證室內潔凈度的所有送風量)均由送風管道進行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風口，經過HEPA或UL。所有回風通過集中回風管道拉回空調機房與新風混合后再次進行一系列熱濕處理，如此往復循環。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室空調系統能耗高的原因: (1)凈化風量大。不同凈化級別的潔凈室的風量是同面積舒適空調的1.5倍。55倍，送風壓力也是2-3倍，所以鼓風機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調凈化系統新風量大。一般情況下，新風量等于排風量和正壓漏風量之和，所以生產過程排風量大，所以新風量大。因此，新風的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設備和工藝熱值高，連續二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內生產技術對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。