2潔凈室空調系統 一般潔凈室(包括工業潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調凈化系統的集中空氣處理和集中送風方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內余熱、濕度，維持室內正壓，保證室內潔凈度的所有送風量)均由送風管道進行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風口，經過HEPA或UL。所有回風通過集中回風管道拉回空調機房與新風混合后再次進行一系列熱濕處理，如此往復循環。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室的空氣處理方式應通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經濟技術的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環風量遠大于新風量，可以實現二次回風，避免冷熱抵消，達到節能的目的。因此，應采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應根據工程具體情況合理采用。對于室內顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內溫度的溫差較小，采用新風空調加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節能的。