潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統(tǒng)的冷負荷是一般空調系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風量大。不同凈化級別的潔凈室的風量是同面積舒適空調的1.5倍。55倍，送風壓力也是2-3倍，所以鼓風機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調凈化系統(tǒng)新風量大。一般情況下，新風量等于排風量和正壓漏風量之和，所以生產過程排風量大，所以新風量大。因此，新風的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內生產技術對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。

潔凈室的節(jié)能 為了降低潔凈室的能耗，應從潔凈室的規(guī)劃設計階段就考慮節(jié)能。降低潔凈室能耗的主要途徑是合理確定潔凈室的面積和適當選擇潔凈度等級。選擇先進的低能耗公共電力系統(tǒng)和設備；合理確定潔凈室的圍護結構等。可以采取的節(jié)能措施包括: (1)場地和總平面布置，盡量選擇空氣污染少、產塵少的場地建廠，潔凈室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工藝布局上，盡可能減少潔凈室面積或減少潔凈度要求嚴格的潔凈室面積|不能設置在潔凈室的工藝和設備應設置在非潔凈室<適當確定各類房間的潔凈度等級，不隨意提出潔凈度要求，組織好人流、物流并布置好輔助用房，配合相關專業(yè)選擇潔凈室的形式和空間布局。 (3)合理確定潔凈室的建筑形式，減少冷量損失。 (4)優(yōu)化凈化空調系統(tǒng)的空氣處理流程。 (5)盡量減少制冷(制熱)負荷，