比如集成電路生產(chǎn)的潔凈室凈化項(xiàng)目。它的控制對(duì)象主要是空氣中的塵粒;根據(jù)集成電路的特征尺寸和集成度,對(duì)空氣潔凈度等級(jí)、抗振動(dòng)、高純度物質(zhì)的要求是不同的,要根據(jù)具體工廠的產(chǎn)品品種來(lái)確定。為確保GMP車間凈化中必要的空氣潔凈度,所有涉及GMP車間凈化的專業(yè)設(shè)計(jì)應(yīng)采取適當(dāng)可靠的技術(shù)措施,減少或防止室內(nèi)灰塵的產(chǎn)生和微生物的滋生,減少或防止微粒微生物或可能造成交叉污染的物質(zhì)帶入潔凈室,并有效排出室內(nèi)的微粒微生物,以減少或防止其滯留在潔凈室中。
潔凈室的氣流組織與普通空調(diào)房間不同。它需要先把干凈的空氣送到操作現(xiàn)場(chǎng)。它的作用是限制和減少工件的污染。因此,在設(shè)計(jì)清洗車間的氣流時(shí)應(yīng)考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區(qū)外的污染引入工作區(qū),盡量防止二次粉塵飛揚(yáng),以減少粉塵污染工件的機(jī)會(huì)。氣流應(yīng)盡可能均勻,風(fēng)速應(yīng)符合工藝和衛(wèi)生要求。當(dāng)氣流流向回風(fēng)口時(shí),可以有效帶走空氣中的灰塵。清洗系統(tǒng)的末級(jí)過(guò)濾器通常使用高效過(guò)濾器或次高效過(guò)濾器。在這里,似乎每個(gè)潔凈度級(jí)別都有兩種類型的過(guò)濾器可供選擇,是高性能還是低性能。
一般情況下,內(nèi)門通常只沿門縫設(shè)置一圈密封條,一條密封線就夠了。而材料人群的外門和潔凈車間的生產(chǎn)區(qū)直接通向外門。為了可靠地防止室外空氣對(duì)人的侵害,除了氣閘和雙扇門,而且建筑和風(fēng)機(jī)的截面比一般內(nèi)門大得多,通常用兩條密封條形成兩道密封線。為了使密封條滿足截面小、受力后壓縮量大的要求,并與受壓構(gòu)件有足夠的接觸和良好的密封條件,通常制成不同種類的橡膠空心薄壁異型管;而且大部分都是成型品。有多種截面形式,嵌入位置和方式不同。