電子探針射線顯微剖析和場發射掃描電鏡有什么不同？各自優缺陷是什么？

簡單說說，可能不標準。所謂的場發射掃描電鏡是指，相較于傳統的鎢燈絲光源而言，其采用更了為先進的肖脫基場發射光源。采用場發射光源后電子束能量更強，二次電子相（也就是我們平常所說的掃描照片）愈加明晰，放大倍數在理想的狀況下能夠到達10萬倍以上。同時，在停止EBSD的中也具有相當的優勢。電子探針，即EPMA, 是一種元素成分的手腕，其根本原理是經過激起物質的本征X射線，獲取信號停止元素標定的。

長沙場發射掃描電鏡檢測

單純的從功用上來講，電子探針能夠看做掃描電鏡的一個功用，即能譜成分（EDS，EDX）。在點掃的形式下，電子探針精度更高，同時打的點更小，更為精準。假如是停止線掃、面掃，EPMA也會有相對的分辨率優勢。值得指出的是，鎢燈絲/場發射兩種掃描電鏡在EDS/EDX上區別不大，場發射電鏡普通沒有明顯優勢。當然，這也要分離詳細的狀況停止剖析?；蛘哒f：EPMA>場發射=鎢燈絲

總結一下，你要是想測定一小塊區域（這個大小還和操作人員有關）的準確成分，能夠選用EPMA。這個設備普通也自配一個掃描電鏡（用于），但精度較低，沒有掃描電鏡其他功用（BSE、EBSD等）。